Вакуумное оборудование

УСТАНОВКА ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ «ГРАНАТ-Э4»

Установка предназначена для выращивания высокотемпературных оксидных монокристаллов из расплава по методу Чохральского в токопроводящем тигле, в вакууме, инертной или окислительной среде – циклическим и полунепрерывным способом – с МПСУ основными параметрами процесса.

Составные части установки:

  • кристаллизатор (вакуумная рабочая камера);
  • привод перемещения штока;
  • система вакуумная с БУВС;
  • шкаф газовый;
  • шкаф конденсаторный;
  • рама (станина);
  • шкаф системы охлаждения;
  • шкаф (блок) системы управления.

 

Технические характеристики

Температура плавления

2200

Внутренние размеры рабочей камеры мм:

диаметр

600

высота

1200

Остаточное давление в рабочей камере

7,5 х10-4 мм.рт.ст

Газовая система обеспечивает расход в камере

аргон, м3

0,4…1,2

кислород, м3

0,008…0,024

Привод перемещения штока обеспечивает:

скорость рабочая, мм/ч

0,2…20

скорость установочного перемещения, мм/мин

0…200

Рабочий ход штока, мм

500 ±10

Диапазон изменения частоты вращения, об/мин

2…40

Выходная мощность транзисторного преобразователя частоты, кВт

40

Максимальные размеры выращиваемого кристалла, мм:

диаметр

140

длина

300

Диапазон датчика веса, кг

5; 10

Давление охлаждающей воды, кПа

от 200 до 250

Габаритные размеры установки, мм:

длина

2100

ширина

1410

высота

2750 (3080мах.)

Масса, кг

1370

 

От изготовления до монтажа


Общество с Ограниченной Ответственностью

Инновационная Производственно-Коммерческая Группа "Сатурн"

г. Брянск, ул. Литейная, д.3

+7 (4832) 92-00-44

+7-920-848-60-60